グレーチング干渉計（Grating interferometer）
X線領域でも干渉計を構築することは可能である．グレーチング干渉計(タルボ干渉計)は，シンプルかつ容易に構築できるため近年注目されている．下図は，集光光学系の波面を計測するためによく用いられる，1つの位相回折格子とX線カメラで構築されたグレーチング干渉計である．グレーチング干渉計では，回折格子によって発生する回折光同士の干渉を計測する．この干渉縞は，回折格子からある決められた距離で観察すると，回折格子と同じ周期パターンになる(Talbot効果)．そのため，この干渉縞は自己像とも呼ばれる．集光光学系で用いた場合，発散光を用いるため，回折格子を通過した光が自動的に拡大される．この結果，自己像も拡大され，カメラで容易に検出できる(通常のタルボ干渉計では，自己像は計測できないくらい細かい．吸収格子を追加し，自己像とのモアレ縞を発生させ，これをカメラで記録する)．この自己像は波面の乱れによって変調され，不規則な縞として観察される(目ではわからないほど微小な変化)．これを縞走査法やフーリエ変換法で解析し，波面の乱れを抽出する．
我々はこれまでの研究で，形状可変ミラーによって乱された波面をλ/10以上の精度で検出することに成功している(下図)．また，X線自由電子レーザー用の集光光学系の性能評価にも応用し，フェムト秒のパスル幅を持つX線レーザーに対して，シングルショットで波面計測を実施することに成功した．
