走査型X線顕微鏡（Scanning X-ray Microscope）
走査型X線顕微鏡の重要な部分な集光光学系である．我々のチームでは集光効率・スループット・色収差・波面収差の点で優れているKirkpatrick-Baez(KB)ミラー集光光学系(上図)を採用している．スループットとは，光源からの光を何％集光ビーム中に集められるかであり，光学素子のサイズと集光効率に依存する．この点は他の光学素子(フレネルゾーンプレートや屈折レンズ)に比べて，ミラー集光光学系がすぐれている点である．また，作動距離が長い(逆に言えば短くできない)ため，試料周りに十分なスペースを確保できる点もメリットである．
KBミラー光学系は，2枚の楕円ミラーで構成されている．上図のように，ミラーは，互いに直交するように配置される．楕円の幾何学的な性質として，第一焦点から出た光は楕円面で反射され，すべて第二焦点に集まるため，よい集光光学系となる．非球面であるため，当然，球面収差はない．
微小集光を実現する上での問題は，ミラーの作製精度である．形状誤差(設計形状からの差)は，2nm程度以下が望ましく(X線エネルギーと斜入射角に依存)，これは通常の作製プロセスでは困難である．我々のグループでは，EEMとスティッチング干渉計を用いて形状誤差(設計形状からの誤差)2nmで非球面ミラーを作製する技術を確立した．これによって，30×50nmの回折限界集光(15keV)を達成した．
この集光光学系とX線検出器(蛍光X線検出用)，試料走査ステージを組み合わせた走査型蛍光X線顕微鏡を開発した(下図)．本顕微鏡は，集光ビームを試料に照射し，その照射位置から放出される蛍光X線を検出器で検出する．試料を走査することで試料全体の蛍光X線分析を行う．これによって，試料の元素組成を可視化することが可能となる．集光ビームを用いることで，高い空間分解能(30nm)が可能であり，また，高い感度(フェムトグラム～アトグラム)で検出することが可能となった．
